CAMBIOS TOPOGRÁFICOS EN SUPERFICIES DE Cu Y DE Al IRRADIADAS CON IONES DE GASES NOBLES

Resumen

Hemos usado la Microscopía de Fuerza Atómica para estudiar los cambios topográficos inducidos en la superficie de muestras de Cu y de Al irradiadas con Ar+ y He+ con 15 keV de energía. Los cambios topográficos fueron estudiados en función de la dosis de irradiación hasta una dosis máxima de 2x10¹⁷ iones/cm2, y en función del ángulo de incidencia. En incidencia normal, los procesos que generan los cambios topográficos para el caso de Ar+ y de He+, son el sputtering y el blistering, respectivamente. En incidencia rasante, se observó la formación de estructuras conoidales, y que la rugosidad promedio de la superficie se reduce respecto de la original, para ángulos de incidencia menores que 3°.