, IMN-Université de Nantes Atomic Energy Commission of Syria, Syrian Arab Republic
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ANALES AFA Vol. 26 Núm. 4: ANALES AFA - Ciencias de los Materiales
Estudio de películas delgadas de AlN depositadas mediante sputtering por magnetrón DC en modo reactivo: efecto de la presión en la textura
Resumen PDF DOI: https://doi.org/10.31527/analesafa.2015.26.4.190
