SIMULACIÓN DE LAS CORRIENTES DE TÚNEL EN ESTRUCTURAS Al-SiON-Si A PARTIR DE UN MODELO SEMIEMPÍRICO

Resumen

En el presente trabajo se aplica un modelo recientemente desarrollado al análisis de las corrientes de túnel en estructuras Al-SiON-Si. Se propone un perfil para la barrera de potencial compatible con las oscilaciones de la corriente observadas en el régimen de inyección Fowler-Nordheim.