RESPUESTA TEMPORAL A H2 DE CAPACITORES MOS CON COMPUERTA DE Mo

Resumen

La fotocorriente inducida por iluminación pulsada, de un capacitor MOS con compuerta de Mo, provisto de ventana óptica, se emplea como monitor de su estado de carga, frente a estímulos químicos con concentraciones crecientes de H2 en N2 de hasta 1000 ppm. Se describen las respuestas inducidas por transporte a la interfaz metal-dieléctrico. Los resultados confirman que la sensibilidad depende exclusivamente de la tasa de arribo del analito a la interfaz compuerta-dieléctrico.