RUGOSIMETROS ÓPTICOS BASADOS EN LA ABERRACIÓN CROMÁTICA Y ESFÉRICA DEL SISTEMA DE ENFOQUE

Resumen

Se presentan dos técnicas ópticas para la medida de rugosidades de superficies. En el primer caso, se utiliza luz blanca y el principio de operación está basado en la aberración cromática del sistema de enfoque. El segundo método emplea luz láser y se basa en la aberración esférica longitudinal del sistema de enfoque. La microtopografía de la muestra se reconstruye luego de un barrido automático punto a punto.