ESTUDIOS DE LOS CAMBIOS TOPOGRÁFICOS EN SUPERFICIES PRODUCIDOS POR BOMBARDEO IÓNICO

Resumen

En este trabajo se analizan los cambios topográficos producidos en superficies de Al policristalino irradiadas con iones de Ar. En particular, se estudiaron los cambios ocurridos cuando se irradia con proyectiles de 5 y 20 keV para distintas condiciones de incidencia rasante α. Se observó una disminución de la rugosidad de la superficie en la dirección paralela a la incidencia del haz a medida que se disminuye α. La rugosidad no presenta cambios significativos cuando se disminuye la energía de los proyectiles de 20 keV a 5 keV para ángulos de incidencia comprendidos entre 3° y 9°, y dosis de irradiación constante (D=9x1015 iones/cm2). Por último se estudiaron los cambios topográficos de las superficies cuando se incide con un α fijo y se varía la dosis de irradiación entre 2.25x1015 iones/cm2 y 20x1015 iones/cm2, observándose una disminución de la rugosidad a medida que se aumenta la dosis.