PROPIEDADES ESTRUCTURALES DE PELÍCULAS DE Al Sn DEPOSITADAS POR ABLACIÓN LASER

Resumen

El AlSn en forma de película delgada es uno de los sistemas metálicos binarios más usados para lubricación sólida. Sus propiedades tribológicas están fuertemente influidas por la estructura de la película y la morfología de la superficie. Si bien la técnica más difundida para la obtención de este compuesto es la de "magnetron sputtering" hemos utilizado por primera vez para su depósito el método de ablación laser por haz pulsado de alta potencia (PLD). Se estudió la estructura y morfología de películas obtenidas por irradiación con un laser de XeCl (λ=308 nm, τ=30 ns.) de blancos rotatorio de AlSn de dos composiciones diferentes. Los depósitos se hicieron sobre Si(100). La caracterización de las películas se efectuó mediante SEM y EDX. Los resultados se compararon con los obtenidos por sputtering.