SENSORES DE HUMEDAD DE PELÍCULA DELGADA - Broitman, E; Latorre, D; Sendra, C; Zimmerman, R (ANALES AFA, 2013)
En este trabajo se describe la construcción y caracterización de un sensor de humedad que emplea como elemento sensible alúmina. Se trata de un sensor capacitivo constituido por una capa dieléctrica de Al2O3 entre electrodos metálicos, fabricado con tecnología de película delgada.