Concari, S. B., Buitrago, H., Risso, G., Cutrera, M., & Battioni, M. (2013). SILICIO MICROCRISTALINO INTRÍNSECO DEPOSITADO POR PECVD DE ALTA FRECUENCIA A MUY BAJA TEMPERATURA. ANALES AFA, 11(1). Recuperado a partir de https://anales.fisica.org.ar/index.php/analesafa/article/view/909