CONCARI, S. B.; BUITRAGO, H.; RISSO, G.; CUTRERA, M.; BATTIONI, M. SILICIO MICROCRISTALINO INTRÍNSECO DEPOSITADO POR PECVD DE ALTA FRECUENCIA A MUY BAJA TEMPERATURA. ANALES AFA, [S. l.], v. 11, n. 1, 2013. Disponível em: https://anales.fisica.org.ar/index.php/analesafa/article/view/909. Acesso em: 6 dic. 2025.