[1]
J. García Molleja, B. J. Gómez, B. Abdallah, M. A. Djouadi, J. Feugeas, y P. Y. Jouan, «Estudio de películas delgadas de AlN depositadas mediante sputtering por magnetrón DC en modo reactivo: efecto de la presión en la textura», AnAFA, vol. 26, n.º 4, ene. 2016.