Benvenuto AG, Schmidt JA, Buitrago RH. OBTENCIÓN DE PELÍCULAS DELGADAS DE SILICIO POLICRISTALINO A PARTIR DE CLOROSILANOS EN REACTORES DE CVD. AnAFA [Internet]. 28 de octubre de 2010 [citado 9 de febrero de 2026];22(2). Disponible en: https://anales.fisica.org.ar/index.php/analesafa/article/view/436