Concari SB, Buitrago H, Risso G, Cutrera M, Battioni M. SILICIO MICROCRISTALINO INTRÍNSECO DEPOSITADO POR PECVD DE ALTA FRECUENCIA A MUY BAJA TEMPERATURA. AnAFA [Internet]. 24 de julio de 2013 [citado 6 de diciembre de 2025];11(1). Disponible en: https://anales.fisica.org.ar/index.php/analesafa/article/view/909