FABRICACIÓN DE ESTÁNDARES DE CALIBRACIÓN PARA MICROSONDAS NUCLEARES

  • S Arena Universidad de Buenos Aires
  • T Faya Universidad de Buenos Aires
  • J Lell Centro Atómico Constituyentes (CAC) - CNEA
  • N Vega Universidad de Buenos Aires
  • J Davidson CONICET
  • F Nesprías Centro Atómico Constituyentes (CAC) - CNEA
  • M Debray Centro Atómico Constituyentes (CAC) - CNEA Universidad Nacional de San Martín Universidad de Buenos Aires

Resumen

El Micro-haz de iones Pesados (MiP) del laboratorio Tandar constituye un instrumento de características únicas enel país, pues puede proveer haces de iones pesados de dimensiones micrométricas acelerados hasta decenas de MeVde energía. La búsqueda de tamaños de haz más pequeños ha creado la necesidad de contar con estándares decalibración de elevada calidad de resolución. En el presente trabajo se desarrollaron los primeros prototipos paracalibrar la focalización del haz: estructuras metálicas de cobre o niquel en forma de grilla con orificios cuadrados.Se emplearon dos métodos de fabricación. En el primero se utilizaron técnicas de fotolitografía convencional sobreun sustrato de silicio con foto-resina, mientras que en el segundo se utilizó el MiP para micro-mecanizar sustratosde Niobato de Litio (LiNbO3). En ambos casos se finalizó el proceso de fabricación del patrón con electrodeposiciónde cobre o níquel sobre la matriz desarrollada. Mediante la técnica fotolitográfica se fabricaron grillasde níquel que varían entre 130 y 180 mesh**. Mediante micro-mecanizado con el MiP se fabricaron grillas de cobrede entre 500 y 2000 mesh sobre sustratos de LiNbO3.

Biografía del autor

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Facultad de Ciencias Físicas y Naturales (FCEyN)
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Facultad de Ciencias Físicas y Naturales (FCEyN)
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Facultad de Ciencias Físicas y Naturales (FCEyN)
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Escuela de Ciencia y Tecnología (ECyT)

Facultad de Ciencias Físicas y Naturales (FCEyN)

Publicado
2013-10-28
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ARENA, S et al. FABRICACIÓN DE ESTÁNDARES DE CALIBRACIÓN PARA MICROSONDAS NUCLEARES. ANALES AFA, [S.l.], v. 24, n. 1, oct. 2013. ISSN 1850-1168. Disponible en: <https://anales.fisica.org.ar/journal/index.php/analesafa/article/view/1866>. Fecha de acceso: 24 abr. 2019
Sección
Física Nuclear