SENSOR DE HUMEDAD USANDO PELÍCULAS DELGADAS DE NANOARROCES DE CuO

Resumen

Se ha fabricado con éxito un sensor de humedad basado en CuO. Se sintetizaron películas delgadas de nanoarroces de CuO mediante el método de reacción y adsorción de capa iónica sucesiva (SILAR) sobre obleas de silicio con una capa delgada de Si₃N₄ como sustrato. La microestructura y la morfología de las muestras se investigaron mediante difracción de rayos X (XRD) y microscopía electrónica de barrido (SEM). Se han estudiado las propiedades de detección de humedad de las películas delgadas. La respuesta de detección se ha medido en el rango de humedad relativa (HR) de 20 hasta 80% a temperatura ambiente. Se encontró que la impedancia del sistema disminuye a medida que aumenta la HR. El sensor preparado reveló una buena reversibilidad con un tiempo de respuesta y recuperación de 130 s y 320 s respectivamente. Los espectros de impedancia compleja se analizaron en el rango de 0.1 a 1 kHz. Este tipo de sensor de humedad se puede utilizar como una nueva generación de sensores ecológicos, de bajo costo y buena estabilidad. Hace que el sensor sea candidato para aplicaciones prácticas.