EMISIÓN ELECTRÓNICA EN COLISIONES ION-SUPERFICIE A INCIDENCIA RASANTE

Abstract

Hemos medido las distribuciones en energía de electrones emitidos durante el bombardeo rasante con 10-100 keV de H+ y He+ sobre superficies de Si. Los espectros muestran una importante dependencia con la dirección de incidencia del haz y de observación de los electrones emitidos. En regiones de observación cercanas a la de reflexión especular de los iones hemos estudiado la dependencia del máximo de la distribución con la topografía y el grado de oxidación de la superficie. Se discuten estas dependencias considerando las transiciones electrónicas al continuo en presencia del potencial directo del ion y del inducido por el ion y el electrón en la superficie, y los efectos post-colisionales. Lejos de la dirección de reflexión especular de los iones hemos observado la emisión Auger del Si. Se discuten las diferencias en la sensibilidad superficial de la espectroscopia Auger inducida por bombardeo con electrones y con iones rasantes sobre superficies parcialmente cubiertas con O2.