PRIMERAS ETAPAS DE OXIDACIÓN DE PELÍCULAS DELGADAS DE Yb: UN ESTUDIO CON ESPECTROSCOPÍA AUGER

Abstract

Por medio de la espectroscopia Auger se estudiaron las primeras etapas de oxidación de películas delgadas de yterbio. Para interpretar la cinética de oxidación del Yb, los espectros Auger adquiridos para diferentes exposiciones de oxígeno, fueron procesados por medio del Análisis de Componentes Principales. Usando el método de transformación al blanco, se aislaron los espectros Auger de las componentes presentes durante el proceso de oxidación, así como sus concentraciones. Las tres componentes independientes obtenidas fueron asignadas a yterbio puro y dos óxidos diferentes respectivamente. El espectro Auger del Yb2O3, obtenido analizando una película de yterbio oxidada siguiendo el procedimiento estándar (150 °C en aire a presión atmosférica durante 118 hs.), resulta igual a una de las componentes obtenidas por Análisis de Componentes Principales. Suponiendo un modelo de crecimiento uniforme del óxido, de capa por capa, los resultados sugieren que: i) en las primeras etapas de oxidación (exposición < 4L ), una delgada capa de un tipo de óxido, YbOx, crece sobre el yterbio puro, ii) para exposiciones mayores, una capa de óxido estequiométrico (Yb2O3), crece sobre la capa intermedia.