RESPUESTA ELÉCTRICA A LAS DEFORMACIONES- MECÁNICAS EN PELÍCULAS DELGADAS DEL CERMET CR-SIOX

Abstract

Se investigaron las propiedades eléctricas y el factor extensométrico de películas del cermet- Cr/SiOx en composiciones 50/50 y 70/30 % en peso, para evaluar su uso en dispositivos "strain gauge". Las películas fueron depositadas por evaporación "flash". Las estructuras y fases resultantes fueron caracterizadas por microscopía y difracción de electrones. Se estudió la influencia del espesor y la velocidad del depósito sobre la resistencia laminar, el coeficiente térmico de resistencia y el factor extensométrico. Los resultados son consistentes con un mecanismo de conducción mixto, con una componente metálica y otra por efecto túnel térmicamente activado, entre fases conductoras interconectadas y discretas, respectivamente.