ESTUDIO DE PELÍCULAS DE TIO2 DECAPADAS POR BOMBARDEO IÓNICO

Abstract

El propósito de este trabajo es el estudio del cambio químico inducido por el bombardeo iónico de películas de TiO2 crecidas sobre Ti policristalino de alta pureza. Los cambios químicos en la superficie bombardeada fueron seguidos mediante AES y los espectros fueron analizados mediante la técnica de análisis de Factores aplicada en forma secuencial. El estudio permitió encontrar la secuencia que sigue la reducción del TiO2 por bombardeo iónico: TiO2 ® Ti2O3 ®TiO ®Ti.