SENSORES DE TEMPERATURA DE PELÍCULA DELGADA

Abstract

Se depositaron trayectos de película delgada de Ni de 1800 Á de espesor diseñados por fotolitografía para ser usados como sensores de temperatura. Los trayectos resistivos fueron provistos de contactos de Cu para soldar terminales. Después de ser recubiertos con una capa de OSi como protección, fueron sometidos a un tratamiento térmico de estabilización. Se obtuvieron sensores pequeños, estables y precisos