DESARROLLO DE UN LÁSER DE EXCIMERO XeCI CON PREIONIZACIÓN TIPO CORONA

Authors

  • P. Mazzinghi IEQ - CNR.
  • M. Vannini IEQ - CNR.
  • R. Salimbeni IEQ - CNR.
  • R. Pini IEQ - CNR.
  • A. Guasti IEQ - CNR.
  • J. J. Niedbalski Facultad de Ciencias Exactas, Universidad Nacional del Centro de la Provincia de Buenos Aires.

Abstract

Se presenta el desarrollo de un láser de excímero XeCl del tipo T.E, de alta presión (2-4 atm.), que emplea Ne como gas buffer. El circuito de excitación es del tipo "transferencia capacitiva" y el canal de descarga está conformado con un cátodo segmentado inductivamente estabilizado y un ánodo contorneado, con una sección efectiva de descarga de 10 x 370 mm2. Se estudiaron los efectos de la preionización UV lateral producida por arcos y por descargas acopladas capacitivamente, sobre la uniformidad de las descargas de bombeo. Por medio de estas últimas, descargas de bombeo volumétricamente homogéneas y muy estables fueron obtenidas empleando mezclas estándar de HCl / Xe / Ne y altamente enriquecidas en HCl / Xe. Emisión láser en 308 mm con relativa alta eficiencia fue obtenida a bajo voltaje de operación.

Author Biographies

P. Mazzinghi, IEQ - CNR.

Firenze, Italia.

M. Vannini, IEQ - CNR.

Firenze, Italia.

R. Salimbeni, IEQ - CNR.

Firenze, Italia.

R. Pini, IEQ - CNR.

Firenze, Italia.

A. Guasti, IEQ - CNR.

Firenze, Italia.

J. J. Niedbalski, Facultad de Ciencias Exactas, Universidad Nacional del Centro de la Provincia de Buenos Aires.

Departamento de Física.

Published

2013-09-22