DESARROLLO DE UN LÁSER DE EXCIMERO XeCI CON PREIONIZACIÓN TIPO CORONA
Abstract
Se presenta el desarrollo de un láser de excímero XeCl del tipo T.E, de alta presión (2-4 atm.), que emplea Ne como gas buffer. El circuito de excitación es del tipo "transferencia capacitiva" y el canal de descarga está conformado con un cátodo segmentado inductivamente estabilizado y un ánodo contorneado, con una sección efectiva de descarga de 10 x 370 mm2. Se estudiaron los efectos de la preionización UV lateral producida por arcos y por descargas acopladas capacitivamente, sobre la uniformidad de las descargas de bombeo. Por medio de estas últimas, descargas de bombeo volumétricamente homogéneas y muy estables fueron obtenidas empleando mezclas estándar de HCl / Xe / Ne y altamente enriquecidas en HCl / Xe. Emisión láser en 308 mm con relativa alta eficiencia fue obtenida a bajo voltaje de operación.
