SENSORES DE HUMEDAD DE PELÍCULA DELGADA

Authors

  • E Broitman Departamento de Física, Facultad de Ingeniería, Universidad de Buenos Aires
  • D Latorre Departamento de Física, Facultad de Ingeniería, Universidad de Buenos Aires
  • C Sendra Departamento de Física, Facultad de Ingeniería, Universidad de Buenos Aires
  • R Zimmerman Departamento de Física, Facultad de Ingeniería, Universidad de Buenos Aires

Abstract

En este trabajo se describe la construcción y caracterización de un sensor de humedad que emplea como elemento sensible alúmina. Se trata de un sensor capacitivo constituido por una capa dieléctrica de Al2O3 entre electrodos metálicos, fabricado con tecnología de película delgada.

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Published

2013-09-22

Issue

Vol. 2 No. 1 (1991): ANALES AFA - Volumen 2 No 1 - La Plata

Section

Physics and Industry