ESTIMACIÓN DE INCERTIDUMBRES EN EL PROCESAMIENTO DIGITAL DE IMÁGENES, ASOCIADA A LA MEDICIÓNINTERFEROMÉTRICA DE DESVÍO DE PLANITUD

Authors

  • F YAPUR Instituto Nacional de Tecnología Industr ial (INTI)
  • L ALVAREZ Instituto Nacional de Tecnología Industr ial (INTI)
  • K BASTIDA Instituto Nacional de Tecnología Industr ial (INTI)

Abstract

El método de medición de desvío de planitud consiste en la comparación entre una superficie de referencia o patrón y lasuperficie de prueba a calibrar. En INTI – Física y Metrología, esta medición se realiza utilizando un interferómetro deFizeau y con el objeto de automatizar el método de calibración, se diseñó una rutina basada en procesamiento digital deimágenes. En este trabajo se presenta un estudio estadístico aplicando método de Monte Carlo que permite analizar lasincertidumbres y la repetibilidad asociadas al mencionado procesamiento. Por otro lado también se consideran lasinfluencias de las condiciones ambientales tales como temperatura, presión y humedad en el método de medición. Losresultados del desvío de planitud y su incertidumbre obtenidos se encuadran en el intervalo establecido por calibracionesprevias. A su vez este trabajo proporciona un método de verificación de las superficies patrón que se utilizan actualmenteen INTI-Física y Metrología para la calibración de desvío de planitud, lo que permitió extender su período de calibración.

Published

2013-10-28

Issue

Section

Optics and Photophysics