FABRICACIÓN DE ESTÁNDARES DE CALIBRACIÓN PARA MICROSONDAS NUCLEARES

Abstract

El Micro-haz de iones Pesados (MiP) del laboratorio Tandar constituye un instrumento de características únicas enel país, pues puede proveer haces de iones pesados de dimensiones micrométricas acelerados hasta decenas de MeVde energía. La búsqueda de tamaños de haz más pequeños ha creado la necesidad de contar con estándares decalibración de elevada calidad de resolución. En el presente trabajo se desarrollaron los primeros prototipos paracalibrar la focalización del haz: estructuras metálicas de cobre o niquel en forma de grilla con orificios cuadrados.Se emplearon dos métodos de fabricación. En el primero se utilizaron técnicas de fotolitografía convencional sobreun sustrato de silicio con foto-resina, mientras que en el segundo se utilizó el MiP para micro-mecanizar sustratosde Niobato de Litio (LiNbO3). En ambos casos se finalizó el proceso de fabricación del patrón con electrodeposiciónde cobre o níquel sobre la matriz desarrollada. Mediante la técnica fotolitográfica se fabricaron grillasde níquel que varían entre 130 y 180 mesh**. Mediante micro-mecanizado con el MiP se fabricaron grillas de cobrede entre 500 y 2000 mesh sobre sustratos de LiNbO3.