EFECTO DE LA CONCENTRACIÓN DEL DOPANTE SOBRE LA ESTRUCTURA Y LA MORFOLOGÍA EN PELÍCULAS DELGADAS DE Y2O3 - HfO2 Y CaO - HfO2

Abstract

Se depositaron películas delgadas de (Y2O3)x-Hf(1-2x)O2-x y (CaO)y-Hf(1-y)O2-y (x: 0.025, 0.1 y 0.12; y:0.06, 0.14y 0.2) sobre sustratos de Al2O3 mediante la técnica de Dip-coating a partir de soluciones alcohólicas de organometálicos utilizando 3-hidroxi-2-butanona (Acetoín) como agente quelante. El quemado de los residuos orgánicosse realizó a 500 ºC bajo atmósfera normal. Las películas fueron tratadas térmicamente a intervalos de temperatura creciente hasta una temperatura máxima de 1250ºC. La morfología y el tamaño de grano de las películas se estudiaron mediante Microscopía de Fuerzas Atómicas (AFM) a temperatura ambiente. La evolución térmica dela estructura cristalina se monitoreó por ex-situ DRX en configuración ϕ-2θ con haz rasante y mediante análisis térmico DTG de polvos equivalentes. Concentraciones crecientes de ambos dopantes incrementan la temperaturade estabilidad de la fase metaestable cúbica, sin embargo para 1250 ºC, sólo la película (Y2O3)x-Hf(1-2x)O2-x noexhibe la presencia de fase monoclínica.