PELÍCULAS DELGADAS AUTOSOSTENIDAS DE SILICIO NANO- Y MACRO- POROSO

Abstract

En este trabajo se presentan los resultados de diferentes procedimientos empleados para preparar películas delgadas de silicio macroporoso, que podrían ser usadas en dispositivos biosensores basados en propiedades fotónicas. Se estudian los efectos de las condiciones de preparación en las estructuras macroporosas resultantes. Se presenta un procedimiento para la obtención de películas autosostenidas, para el uso de las mismas en procesos de separación química. Se presentan además resultados de procedimientos empleados para obtener películas y dispositivos fotónicos autosostenidos de silicio nanoporoso, que permiten estudiar la transmitancia en el espectro visible.