ESTUDIO DEL PLASMA DENTRO DE UN FILTRO MAGNÉTICO EN VACÍO

Abstract

Este trabajo presenta una caracterización del flujo iónico generado por un arco continuo filtrado magnéticamente y operado en vacío. El equipo incluye una cámara de descarga (donde se genera un plasma metálico), acoplada a una cámara de deposición (donde se coloca un substrato) mediante un filtro magnético en forma de cuarto de toroide. El arco se realiza entre un cátodo cilíndrico y un ánodo anular refrigerados con agua, ambos de Cobre, con una corriente continua de 100 A. El filtro consiste en un cilindro de acero inoxidable doblado a 90º y con paredes corrugadas, de 500 mm de largo y 100 mm de diámetro interno, rodeado de bobinas generadoras de campo magnético. La intensidad de este campo es suficiente para magnetizar los electrones pero no los iones, y su máximo valor es ~ 260 G en el codo del filtro. Además el sistema cuenta con la posibilidad de polarizar el filtro toroidal mediante una fuente d-c independiente. Se presentan las mediciones de los potenciales flotantes del filtro y del plasma, y la corriente iónica colectada por sondas en diferentes posiciones en función del campo magnético y del potencial de polarización del filtro.