CARACTERIZACIÓN DE PELÍCULAS DELGADAS DE ZnO DOPADO CON Al2O3 DEPOSITADAS POR LA TÉCNICA DE SPUTTERING RF

Abstract

Los filmes de óxido de zinc dopados con aluminio (ZnO:Al), material utilizado como electrodo frontal en celdas solares, se depositaron en una unidad de erosionado catódico con RF (sputtering RF). Se utilizó como electrodo una pastilla comercial de ZnO/AlO3 con 97,1/2,9% en peso. Se dispuso de una fuente de RF de 13,56 MHz con un amplificador de potencia de 50-300 Vatios y de argón de alta pureza como gas de reacción. Para eliminar las impurezas superficiales del blanco, se realizó un pre-sputtering. La temperatura del sustrato, la distancia entre electrodos, la presión de argón, el tiempo de reacción y la potencia de RF aplicada se variaron para estudiar las propiedades estructurales y electro-ópticas. La transmitancia óptica se registró con un espectro fotómetro UV-VIS y los espesores se calcularon a partir de los espectros de transmisión. La resistencia de lámina de los filmes de óxido de zinc se midió por el método directo. Se encontró una fuerte dependencia de la transmitancia directa y de la conductividad con la temperatura del sustrato y la presión del gas de reacción.