ESTRUCTURA DE PELÍCULAS DELGADAS SUPERCONDUCTORAS DE YBaCuO PREPARADAS POR PLD (DEPOSICIÓN POR LÁSER PULSADO)

Resumen

Se depositaron películas delgadas superconductoras de YBa_2 Cu_3 O_(7-3) (YBCO), utilizando la técnica de deposición por láser pulsado (PLD: Pulsed Laser Deposition), sobre substratos monocristalinos de SeTiO3, MgO y Si con orientación (100). La utilización de estas películas en dispositivos electrónicos requiere de un buen control del crecimientoepitaxial y de la calidad de la microestructura. En este trabajo se estudió la influencia de la presión de oxigeno durante el crecimiento, sobre la topografía de la superficie, el grado de orientación y la microestructura de las películas en relación con las propiedades de transporte de las mismas. Se utilizó un láser excímero (XeCl -308 nm) pulsado con una frecuencia de 4 Hz. Para el análisis de la microestructura de las películas se utilizaron las técnicas de Difracción de Rayos X (DRX), Microscopio Electrónica de Barrido (MEB) y Microscopía de Fuerza Atómica (MFA). Los resultados muestran una correlación entre la microestructura y las propiedades superconductoras, encontrándose un valor óptimo de presión de oxígeno en la cámara durante el crecimiento.