TÚNEL FOWLER-NORDHEIM EN ESTRUCTURAS MOS CON CARGA ATRAPADA EN EL AISLANTE

Abstract

En este trabajo se muestra que la corriente de túnel a través del aislante de puerta de una estructura Al-SiO2 Si con carga atrapada en el óxido, puede ser descripta por una expresión del tipo Fowler-Nordheim modificada, donde el campo catódico es reemplazado por la pendiente de la barrera de potencial a la energía correspondiente al nivel de Fermi en el cátodo. La carga atrapada en el aislante se considera uniformemente distribuida y su valor se deduce a partir del corrimiento de la tensión de bandas planas.